随后从典型的MEMS器件的原理及相关的制作工艺与流程出发

2月25日上午,航天长征火箭技术有限公司MEMS中心副主任设计师路文一博士应邀来信息学院作了题为“MEMS器件制造”的学术报告。信息学院刘兆军副教授主持了报告,学院部分师生聆听了报告。

MEMS技术是一门涉及物理学、半导体、光学、等多种学科和工程的新型技术,在电子、医学、工业、汽车和航空航天系统等国民经济和军事系统方面有着广泛的应用前景。路文一博士首先向大家介绍了MEMS技术的概念及其发展历史,随后从典型的MEMS器件的原理及相关的制作工艺与流程出发,详细介绍了MEMS器件制作过程中所需的工艺和步骤及关键问题的解决方法。报告会后,相关教师与路博士一起,就MEMS技术与激光技术结合的可行性方面进行了深入讨论,在技术交流、协同攻关等方面形成了初步的合作意向。

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